19.五氟化铊-TlF5,>99.9%,电子气,用于离子注入。

20.氯乙烯-C2H3Cl,99.9%,校正气,用作冷冻剂。

21.氟乙烯-C2H3F,>99.9%,校正气,用于制聚乙烯树脂和其它单体的共聚物。

(1986年7月15日收稿)